그만큼노출된 선형 스케일고정밀 측정이 요구되는 공작기계 및 시스템에 적합하게 설계되었으며, 볼스크류의 온도 특성 및 운동 특성으로 인해 발생하는 오차 및 역오차를 제거합니다.
적용 산업:
반도체 산업을 위한 측정 및 생산 장비
회로기판 조립기
정밀 공작 기계
고정밀 공작 기계
측정기 및 비교기, 측정현미경 및 기타정밀 측정 장비
시리즈 제품의 적용 및 소개:
LS40 시리즈 선형 격자 판독 헤드는 40μm 격자 피치를 가진 M4 시리즈 초박형 스테인리스 스틸 스케일에 맞춰 설계되었습니다. 단일 필드 스캐닝과 저지연 세분화 처리 기술을 적용하여 탁월한 동적 성능을 제공합니다.
RU 시리즈 선형 격자 스케일은 고정밀 선형 측정을 위한 피드백을 제공하도록 설계된 증분형 20μm 격자 스케일입니다. 첨단 간섭 격자 라인 마킹 기술을 채택하여 격자 라인 오차를 40nm 미만으로 제어합니다. 고강도, 내식성 특수 소재를 사용했으며, 스테인리스 스틸 소재는 장기간 안정적인 사용을 보장합니다.
RX 시리즈 증분형 판독 헤드에는 RH Optics의 고급 광학 영점 위치 센서가 장착되어 있습니다. Handing Optical의 최첨단 영점 단일 필드 스캐닝 기술, 고급 자동 이득 및 자동 편차 보정 기술을 채택했습니다. 전자 세분화 오차가 낮고 오염 방지 성능이 뛰어나며 선형 격자 스케일 및 링 격자와 호환됩니다.
기계 구조:
노출된 선형 스케일비접촉식 스틸 테이프 스케일과 판독 헤드를 포함합니다. 개방형 선형 격자 스케일의 스틸 테이프 격자 스케일은 장착면에 직접 고정되어 있으므로 장착면의 평탄도는 선형 격자 스케일의 정확도에 영향을 미칩니다.
게시 시간: 2023년 2월 16일
